由于无尘室的平面和空间布置特殊，在进行各项技术设施的系统设计、设备配置时应---注意按规定选用符合要求的系统和设备。为---无尘室工程洁净厂房的正常生产和工作，应设置一套较完整的自控装置，实现以下功能：洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节、高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测、气体纯度、纯水水质的监测等。无尘室门窗上的缝隙分为固定缝隙和活动缝隙。性质不同在无尘室门、窗上所占比例也不同。无尘室门、窗密闭采取的气密措施也不完全相同。
比如说在微电子工作的芯片出产过程中，对微粒的控制要抵达分子级，该工作对出产环境要求非常苛刻，如不满意出产的环境需求就无法进行出产，或者说出产出来的产品都是报废品，无法运用。无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整，不设置窗台。负压密封，ffu送风系统的静压箱为负压，因此即使风口安装存在泄漏，也是从无尘室向静压箱泄漏，净化工程无尘室，不会形成对无尘室的污染。
采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低，但存在许多缺陷，比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组群1控制等。无尘室门窗缝隙的处理一般来说，无尘室门窗大都共同具有三类构造缝隙。一类是樘的组合拼接和樘与无尘室门洞间的安装缝隙;二类是樘与开启扇之间的搭接缝隙;三类是玻璃或其他芯板的安装缝隙。通常所提的无尘室门的空气泄漏无非是由上述三种缝隙产生的问题。
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