比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无尘室,无法运用。无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。负压密封,ffu送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
为---无尘室工程洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节、高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测、气体纯度、纯水水质的监测等。在选择ffu风机外壳结构的时候,不但要考虑避免风机泄漏和消除运输与搬运期间带来的损坏,而且还要考虑能用消毒剂消毒,以及ffu使用的环境,因此zui好选用不锈钢或铝合金的材料作外壳。
ffu的维护管理:采用ffu送风方式时,往往不是单台设备而是数十台、数百台ffu布置在吊顶上,因此给维护管理带来一定的难度。一般过滤器从洁净室内进行更换,而风机多数需要在龙骨架顶端(静压箱内部)维护,但如果静压箱没有足够的高度无法从内部维护风机时,那么就要考虑从无尘室内部进行维护风机的可行性了。总之,在应用ffu时要根据实际情况进行考虑,达到既保留其特点又降低成本的目的。
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