比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。负压密封,ffu送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
而风机多数需要在龙骨架顶端(静压箱内部)维护,但如果静压箱没有足够的高度无法从内部维护风机时,那么就要考虑从无尘室内部进行维护风机的可行性了。总之,在应用ffu时要根据实际情况进行考虑,达到既保留其特点又降低成本的目的。由于高1级别的无尘室(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求,千级无尘室,洁净室吊顶上部将设立一个个---的送风静压箱,静压箱内设立通风机,这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间,使得维修空间变的狭小,。
无尘室ffu控制方式的选择:多档开关控制系统:此系统只包括ffu自带的一个调速开关和一个电源开关。由于控制元件为ffu自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节ffu,控制起来极不方便,而且ffu的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组群1控制等。
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