比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。负压密封,ffu送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
由于控制元件为ffu自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节ffu,控制起来极不方便,无尘室净化车间,而且ffu的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组群1控制等。比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。
无尘室ffu:当使用ffu的时侯,无尘室的吊顶被分成了若干模块,每个模块就是一个ffu,这样我们可以通过调节每个模块(即ffu)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求,从而---降低了对该静压箱高度的要求。同时可以节省---的送、回风管,故可节省安装空间。尤其是在改造工程受到层高---时,ffu有效地解决了这一问题。无尘室需要注意的细节问题:风管要求经济与效率并重,在无尘车间工程集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。
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