选择与安装ffu时应注意的事项:风机过滤器单元简称为“ffu”是一个自带送风机(无壳风机)的过滤器送风口,它与其龙骨系统、加压风机、冷却盘管、新风系统以及灯具共同组成了ffu系统。也就是将风机和过滤器(过滤器或超过滤器)组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的过滤器的送风口、自净器、层流罩等都是ffu的一种。
ffu的维护管理:采用ffu送风方式时,往往不是单台设备而是数十台、数百台ffu布置在吊顶上,因此给维护管理带来一定的难度。一般过滤器从洁净室内进行更换,而风机多数需要在龙骨架顶端(静压箱内部)维护,但如果静压箱没有足够的高度无法从内部维护风机时,那么就要考虑从无尘室内部进行维护风机的可行性了。总之,防静电无尘室,在应用ffu时要根据实际情况进行考虑,达到既保留其特点又降低成本的目的。
由于控制元件为ffu自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节ffu,控制起来极不方便,而且ffu的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组群1控制等。比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。
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